Sputtering by Particle Bombardment III

Behrisch, Rainer|Wittmaack, Klaus|Behrisch, R.|Hauffe, W.|Hofer, W. O.|Laegreid, N.|McClanahan, E. D.|Sundqvist, B. U. R.|Wittmaack, K.|Yu, M. L.

ISBN 10: 3662311046 ISBN 13: 9783662311042
Edité par Springer Berlin Heidelberg, 2014
Langue: anglais
Etat : Neuf Couverture souple

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