Stress Analysis of Silicon Carbide Microelectromechanical Systems Using Raman Spectroscopy

Langue : anglais

Edité par Creative Media Partners, LLC Okt 2012, 2012

128686237X / 9781286862377

Vendeur : AHA-BUCH GmbH, Einbeck, AllemagneAHA-BUCH GmbH

Vendeur avec une évaluation de 5 étoiles

Vendeur AbeBooks depuis 14 août 2006

Livre broché

Etat: Neuf

EUR 30,64

EUR 35,00 expédition 
Expédition depuis Allemagne vers Etats-Unis

Quantité disponible : 2 disponibles

Ajouter au panier
Retours gratuits sous 30 jours

A propos de cet article

Neuware - During the fabrication of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS), residual stress is often induced in the thin films that are deposited to create these systems. These stresses can cause the device to fail due to buckling, curling, or fracture. Government and industry are looking for ways to characterize the stress during the deposition of thin films in order to reduce or eliminate device failure. Micro-Raman spectroscopy has been successfully used to analyze poly-silicon MEMS devices made with the Multi-User MEMS Process (MUMPS). Micro-Raman spectroscopy was selected because it is nondestructive, fast and has the potential for in situ stress monitoring. This research attempts to validate the use of Raman spectroscopy to analyze the stress in MEMS made of silicon carbide (SiC) using the Multi-User Silicon Carbide surface micromachining (MUSiC) process. Surface interferometry of fixed-fixed beam arrays and comb drive resonance test are employed to determine stress and compare it to the Raman values. Research also includes baseline spectra of 6H, 4H, and 15R poly-types of bulk SiC. Raman spectra of 1- to 2-µm thick 3C-SiC thin films deposited on silicon, silicon nitride, and silicon oxide substrates are presented as an attempt to establish a baseline spectra for 3C-SiC, the poly-type of SiC found in MEMS made with the MUSiC process.…

N° de réf. du vendeur 9781286862377

Titre
Stress Analysis of Silicon Carbide Microelectromechanical Systems Using Raman Spectroscopy
Auteur
Stanley J Ness
Éditeur
Creative Media Partners, LLC Okt 2012
Année de publication
2012
État de l'article
Neu
Reliure
Taschenbuch
Langue
anglais
ISBN à 10 chiffres
128686237X
ISBN à 13 chiffres
9781286862377
Poids de l'article
177 grammes
Dimensions
234x156x6 mm

AHA-BUCH GmbH

Einbeck, Allemagne

Vendeur avec une évaluation de 5 étoiles

Vendeur AbeBooks depuis 14 août 2006

Frais d'expédition de Allemagne vers Etats-Unis

Article7 à 10 jours ouvrés5 à 7 jours ouvrés
Premier articleEUR 35,00EUR 45,00
Les délais de livraison sont fixés par les vendeurs et varient en fonction du transporteur et du lieu. Les commandes transitant par les douanes peuvent être retardées et les acheteurs sont responsables de tous les droits ou frais associés. Les vendeurs peuvent vous contacter au sujet de frais supplémentaires afin de couvrir toute augmentation des coûts d'expédition de vos articles.

Modes de paiement

  • Visa
  • Mastercard
  • American Express
  • Carte Bleue
  • Apple Pay
  • Google Pay
  • Chèque
  • Paypal
  • Virement bancaire

Description de la boutique

Das Unternehmen AHA-BUCH GmbH: Seit der Gründung von AHA-BUCH im Juli 2005 ist unser Hauptziel, zufriedenen Kunden so schnell und so preisgünstig wie möglich ihren Bücherwunsch zu erfüllen. Unsere Firma beschäftigt 16 Mitarbeiter, die nur ein Ziel kennen: den Kunden und seine Wünsche! Auf über 3700 m2 Fläche haben wir über 100.000 Bücher, Modernes Antiquariat und Spiele auf Lager.

Spécialité

Kinderbücher & Kinderhör Casetten, German Books, Software, Natur & Tiere, Ratgeber, Sachbücher, Englische Bücher, Medizin & Gesundheit, Universität & Studium

Profil professionnel du vendeur

AHA-BUCH GmbH

Garlebsen 48
Einbeck, Allemagne 37574