Thin Films Material Technology: Sputtering of Compound Materials Kiyotaka Wasa, Makoto Kitabatake et Hideaki Adachi

Kiyotaka Wasa, Makoto Kitabatake et Hideaki Adachi

ISBN 10: 3540211187 ISBN 13: 9783540211181
Edité par Springer, 2004
Langue: anglais
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