Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers

Langue : anglais

Edité par Springer Berlin Heidelberg, 1998

3540616721 / 9783540616726

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Handbook on most advanced technologies in surface processing of silicon wafers.A totally new concept for clean surface processing of Si wafers is introduced in this book. Some fifty distinguished researchers and engineers from the leading Japanese semic.

N° de réf. du vendeur 4895705

Titre
Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers
Auteur
Hattori, Takeshi
Éditeur
Springer Berlin Heidelberg
Année de publication
1998
État de l'article
New
Reliure
Gebunden
Langue
anglais
ISBN à 10 chiffres
3540616721
ISBN à 13 chiffres
9783540616726
Dimensions
2.7 x 24 x 16
Catalogues du vendeur
Mathematik/Naturwissenschaften/Technik/Medizin

moluna

Greven, Allemagne

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