VHF and Microwave Discharge Plasmas: Surface Heating of Plasmas at VHF and Microwave Frequency in Advanced Materials Processing

Abdel Fattah, Essam; Sugai, Hideo

ISBN 10: 3639241487 ISBN 13: 9783639241488
Edité par VDM Verlag Dr. Müller, 2010
Langue: anglais
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