VLSI Electronics Microstructure Science. Volume 8: Plasma Processing for VLSI.

Einspruch, Norman G. und Dale M. Brown:

ISBN 10: 0122341082 ISBN 13: 9780122341083

Edit� par Orlando u.a., Academic Press,, 1984

Langue: allemand

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XVI, 527 S. mit Abb. Foliertes Bibliotheksexemplar. Mehrfach gestempelt. 71187 0122341082 Sprache: Deutsch Gewicht in Gramm: 1000.

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D�tails bibliographiques

Titre

VLSI Electronics Microstructure Science. Volume 8: Plasma Processing for VLSI.

�diteur

Orlando u.a., Academic Press,

Date de parution

1984

Langue

allemand

ISBN � 10 chiffres

0122341082

ISBN � 13 chiffres

9780122341083

Reliure

Gro� 8�. O.Leinen.

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