X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing

Langue : anglais

Edité par Taylor and Francis Inc, US, 2006

0849339286 / 9780849339288

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The scales involved in modern semiconductor manufacturing and microelectronics continue to plunge downward. Effective and accurate characterization of materials with thicknesses below a few nanometers can be achieved using x-rays. While many books are available on the theory behind x-ray metrology (XRM), X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing is the first book to focus on the practical aspects of the technology and its application in device fabrication and solving new materials problems.Following a general overview of the field, the first section of the book is organized by application and outlines the techniques that are best suited to each. The next section delves into the techniques and theory behind the applications, such as specular x-ray reflectivity, diffraction imaging, and defect mapping. Finally, the third section provides technological details of each technique, answering questions commonly encountered in practice. The authors supply real examples from the semiconductor and magnetic recording industries as well as more than 150 clearly drawn figures to illustrate the discussion. They also summarize the principles and key information about each method with inset boxes found throughout the text.Written by world leaders in the field, X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing provides real solutions with a focus on accuracy, repeatability, and throughput.…

N° de réf. du vendeur LU-9780849339288

Titre
X-Ray Metrology in Semiconductor Manufacturing
Auteur
D. Keith Bowen, Brian K. Tanner
Éditeur
Taylor and Francis Inc, US
Année de publication
2006
État de l'article
New
Reliure
Hardback
Langue
anglais
ISBN à 10 chiffres
0849339286
ISBN à 13 chiffres
9780849339288
Poids de l'article
544 grammes

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