Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication
Langue : anglais
Edité par John Wiley & Sons Inc, 2007
- Éd. originale
- Livre broché
- Neuf

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Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication presents a complete theoretical and practical treatment of the topic of lithography for both students and researchers. This sole-authored text includes optional computer simulation exercises as well as problems at the end of each chapter. Num Pages: 534 pages, Illustrations. BIC Classification: TJFC. Category: (P) Professional & Vocational. Dimension: 243 x 169 x 31. Weight in Grams: 1002. . 2012. 1st Edition. Paperback. . . . .
N° de réf. du vendeur V9780470727300
- Titre
- Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication
- Auteur
- Chris Mack
- Éditeur
- John Wiley & Sons Inc
- Année de publication
- 2007
- État de l'article
- New
- Reliure
- Couverture souple
- Langue
- anglais
- ISBN à 10 chiffres
- 0470727306
- ISBN à 13 chiffres
- 9780470727300
- Édition
- Edition originale
By creating structures of these various components millions of transistors can be built and wired together to form the complex circuitry of modern microelectronic devices. Fundamental to all of these processes is lithography, ie, the formation of three-dimensional relief images on the substrate for subsequent transfer of the pattern to the substrate.
This book presents a complete theoretical and practical treatment of the topic of lithography for both students and researchers. It comprises ten detailed chapters plus three appendices with problems provided at the end of each chapter.
Additional Information:
Visiting http: //www.lithoguru.com/textbook/index.html enhances the reader's understanding as the website supplies information on how you can download a free laboratory manual, Optical Lithography Modelling with MATLAB(R), to accompany the textbook. You can also contact the author and find help for instructors.
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À propos de l’auteur
Chris A. Mack, Vice-President of Lithography Technology, Lithoguru.com.
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