IEEE Micro Electro Mechanical Systems 1996 Proceedings: An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Systems, 11-15 February 1996, San Diego, California

Allen, Mark G.; Reed, Michael L. (Co-Chairs); Sato, Kazuo; Shoji, Shuichi (Technical Co-Chairs); et.al.

ISBN 10: 0780329864 ISBN 13: 9780780329867
Edité par The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc., New York, NY, U.S.A., 1996
Langue: anglais
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