Ultraclean Semiconductor Processing Technology and Surface Chemical Cleaning and Passivation

Liehr, Michael

ISBN 10: 1558992898 ISBN 13: 9781558992894

Edit� par Materials Research Society, 1995

Langue: anglais

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Titre

Ultraclean Semiconductor Processing Technology and Surface Chemical Cleaning and Passivation

�diteur

Materials Research Society

Date de parution

1995

Langue

anglais

ISBN � 10 chiffres

1558992898

ISBN � 13 chiffres

9781558992894

Reliure

Hardcover

�dition

First Edition.

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