Synopsis
An understanding of the processes involved in the basic and applied physics and chemistry of the interaction of plasmas with materials is vital to the evolution of technologies such as those relevant to microelectronics, fusion and space.
The subjects dealt with in the book include: the physics and chemistry of plasmas, plasma diagnostics, physical sputtering and chemical etching, plasma assisted deposition of thin films, ion and electron bombardment, and plasma processing of inorganic and polymeric materials.
The book represents a concentration of a substantial amount of knowledge acquired in this area - knowledge which was hitherto widely scattered throughout the literature - and thus establishes a baseline reference work for both established and tyro research workers.
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Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials
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Springer Netherlands, 1990
ISBN 10 : 0792305841
ISBN 13 : 9780792305842
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Gebunden. Etat : New. Dieser Artikel ist ein Print on Demand Artikel und wird nach Ihrer Bestellung fuer Sie gedruckt. Proceedings of the NATO Advanced Study Institute, Alicante, Spain, September 4-16, 1988 An understanding of the processes involved in the basic and applied physics and chemistry of the interaction of plasmas with materials is vital to the evoluti. N° de réf. du vendeur 5965903
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Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials
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Buch. Etat : Neu. Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials | O. Auciello (u. a.) | Buch | xiv | Englisch | 1990 | Springer | EAN 9780792305842 | Verantwortliche Person für die EU: Springer Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, 69121 Heidelberg, juergen[dot]hartmann[at]springer[dot]com | Anbieter: preigu Print on Demand. N° de réf. du vendeur 102439695
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Buch. Etat : Neu. Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - An understanding of the processes involved in the basic and applied physics and chemistry of the interaction of plasmas with materials is vital to the evolution of technologies such as those relevant to microelectronics, fusion and space. The subjects dealt with in the book include: the physics and chemistry of plasmas, plasma diagnostics, physical sputtering and chemical etching, plasma assisted deposition of thin films, ion and electron bombardment, and plasma processing of inorganic and polymeric materials. The book represents a concentration of a substantial amount of knowledge acquired in this area - knowledge which was hitherto widely scattered throughout the literature - and thus establishes a baseline reference work for both established and tyro research workers. N° de réf. du vendeur 9780792305842
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