Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-Based Devices - Couverture souple

Garfunkel, Eric; Gusev, Evgeni; Vul', Alexander

 
9780792350088: Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-Based Devices

Synopsis

An extrapolation of ULSI scaling trends indicates that minimum feature sizes below 0.1 mu and gate thicknesses of Audience: Both expert scientists and engineers who wish to keep up with cutting edge research, and new students who wish to learn more about the exciting basic research issues relevant to next-generation device technology.

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9780792350071: Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-Based Devices

Edition présentée

ISBN 10 :  0792350073 ISBN 13 :  9780792350071
Editeur : Kluwer Academic Publishers, 1998
Couverture rigide