Garfunkel eric (37 résultats)
Langue : anglais
Edité par Springer, 1998
Série : Livre 16 sur 26 - Nato Science Partnership Subseries: 3
- Couverture rigide
Vendeur : BOOKWEST, Phoenix, AZ, Etats-UnisBOOKWEST
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EUR 133,02
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Hardcover. Etat : Very Good. AS NEW: Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-based Devices HC 1998 Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-based Devices (NATO Science Partnership Subseries: 3, 47) 1998th Edition by Eric Garfunkel (Editor), Evgeni Gusev (Editor), Alexander Vul' (Editor) OUR REFERENCE:128B3-0…792350073-HC-2P2-lb-Wht-B45 DESCRIPTION An extrapolation of ULSI scaling trends indicates that minimum feature sizes below 0.1 mu and gate thicknesses of <3 nm will be required in the near future. Given the importance of ultrathin gate dielectrics, well-focused basic scientific research and aggressive development programs must continue on the silicon oxide, oxynitride, and high K materials on silicon systems, especially in the critical, ultrathin 1-3 nm regime. The main thrust of the present book is a review, at the nano and atomic scale, the complex scientific issues related to the use of ultrathin dielectrics in next-generation Si-based devices. The contributing authors are leading scientists, drawn from academic, industrial and government laboratories throughout the world, and representing such backgrounds as basic and applied physics, chemistry, electrical engineering, surface science, and materials science. Audience: Both expert scientists and engineers who wish to keep up with cutting edge research, and new students who wish to learn more about the exciting basic research issues relevant to next-generation device technology. Product details Publisher ‏ : ‎ Springer; 1998th edition (March 31, 1998) Language ‏ : ‎ English Hardcover ‏ : ‎ 518 pages ISBN-10 ‏ : ‎ 0792350073 ISBN-13 ‏ : ‎ 978-0792350071.
Langue : anglais
Edité par Springer, 2010
Série : Livre 2 sur 32 - NATO Science for Peace and Security Series B: Physics and Biophysics
- Couverture rigide
Vendeur : Phatpocket Limited, Waltham Abbey, HERTS, Royaume-UniPhatpocket Limited
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Langue : anglais
Edité par Springer, 1998
Série : Livre 16 sur 26 - Nato Science Partnership Subseries: 3
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EUR 165,24
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Langue : anglais
Edité par Springer, 1998
Série : Livre 16 sur 26 - Nato Science Partnership Subseries: 3
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Vendeur : Ria Christie Collections, Uxbridge, Royaume-UniRia Christie Collections
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Etat : New. In.
Langue : anglais
Edité par Springer, 1998
Série : Livre 16 sur 26 - Nato Science Partnership Subseries: 3
- Couverture souple
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EUR 174,36
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Taschenbuch. Etat : Neu. Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - An extrapolation of ULSI scaling trends indicates that minimum feature sizes below 0.1 mu and gate thicknesses of Audience: Both expert scientists and engineers who wish to keep up with cutting edge research, and new students who wish to learn more abo…ut the exciting basic research issues relevant to next-generation device technology.
Langue : anglais
Edité par Springer, 1998
Série : Livre 16 sur 26 - Nato Science Partnership Subseries: 3
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EUR 174,36
EUR 30,50 expéditionExpédition depuis Allemagne vers Etats-UnisQuantité disponible : 1 disponible(s)
Buch. Etat : Neu. Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - An extrapolation of ULSI scaling trends indicates that minimum feature sizes below 0.1 mu and gate thicknesses of Audience: Both expert scientists and engineers who wish to keep up with cutting edge research, and new students who wish to learn more about the…exciting basic research issues relevant to next-generation device technology.
Langue : anglais
Edité par Kluwer Academic Publishers, 1998
Série : Livre 16 sur 26 - Nato Science Partnership Subseries: 3
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Vendeur : Kennys Bookshop and Art Galleries Ltd., Galway, GY, IrlandeKennys Bookshop and Art Galleries Ltd.
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Etat : New. Proceedings of the NATO Advanced Research Workshop on Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-Based Devices: Towards an Atomic Scale Understanding, St. Petersburg, Russia, August 4-8, 1997 Editor(s): Garfunkel, Eric; Gusev, Evgeni; Vul', Alexander Ya. Series: NATO Science Partnership Subseries: 3. Num Page…s: 507 pages, 114 black & white illustrations, biography. BIC Classification: TJFD5. Category: (P) Professional & Vocational; (UP) Postgraduate, Research & Scholarly. Dimension: 244 x 170 x 28. Weight in Grams: 962. . 1998. Hardback. . . . .
Langue : anglais
Edité par Springer, 1998
Série : Livre 16 sur 26 - Nato Science Partnership Subseries: 3
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EUR 3,44 expéditionExpédition nationale : Etats-UnisQuantité disponible : 4 disponible(s)
Etat : New. pp. 524.
Langue : anglais
Edité par Kluwer Academic Publishers, 1998
Série : Livre 16 sur 26 - Nato Science Partnership Subseries: 3
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Vendeur : Kennys Bookshop and Art Galleries Ltd., Galway, GY, IrlandeKennys Bookshop and Art Galleries Ltd.
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EUR 203,06
EUR 9,50 expéditionExpédition depuis Irlande vers Etats-UnisQuantité disponible : 15 disponible(s)
Etat : New. Proceedings of the NATO Advanced Research Workshop on Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-Based Devices: Towards an Atomic Scale Understanding, St. Petersburg, Russia, August 4-8, 1997 Editor(s): Garfunkel, Eric; Gusev, Evgeni; Vul', Alexander Ya. Series: NATO Science Partnership Subseries: 3. Num Page…s: 507 pages, 114 black & white illustrations, biography. BIC Classification: TJFD5. Category: (P) Professional & Vocational; (UP) Postgraduate, Research & Scholarly. Dimension: 240 x 160 x 26. Weight in Grams: 1590. . 1998. Softcover reprint of the original 1st ed. 1998. Paperback. . . . .
Advanced Materials and Technologies for Micro/Nano-Devices, Sensors and Actuators
Gusev, Evgeni (EDT); Garfunkel, Eric (EDT); Dideikin, Arthur (EDT)
Langue : anglais
Edité par Springer, 2010
Série : Livre 2 sur 32 - NATO Science for Peace and Security Series B: Physics and Biophysics
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Vendeur : GreatBookPricesUK, Woodford Green, Royaume-UniGreatBookPricesUK
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EUR 216,84
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Etat : New.
Langue : anglais
Edité par Springer, 2010
Série : Livre 2 sur 32 - NATO Science for Peace and Security Series B: Physics and Biophysics
- Couverture souple
Vendeur : Ria Christie Collections, Uxbridge, Royaume-UniRia Christie Collections
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EUR 226,60
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Etat : New. In.
Langue : anglais
Edité par Springer, 2010
Série : Livre 2 sur 32 - NATO Science for Peace and Security Series B: Physics and Biophysics
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Vendeur : Ria Christie Collections, Uxbridge, Royaume-UniRia Christie Collections
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EUR 226,60
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Etat : New. In.
Advanced Materials and Technologies for Micro/Nano-Devices, Sensors and Actuators
Gusev, Evgeni (EDT); Garfunkel, Eric (EDT); Dideikin, Arthur (EDT)
Langue : anglais
Edité par Springer, 2010
Série : Livre 2 sur 32 - NATO Science for Peace and Security Series B: Physics and Biophysics
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Vendeur : GreatBookPrices, Columbia, MD, Etats-UnisGreatBookPrices
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Etat : New.
Advanced Materials and Technologies for Micro/Nano-Devices, Sensors and Actuators
Gusev, Evgeni (EDT); Garfunkel, Eric (EDT); Dideikin, Arthur (EDT)
Langue : anglais
Edité par Springer, 2010
Série : Livre 2 sur 32 - NATO Science for Peace and Security Series B: Physics and Biophysics
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Vendeur : GreatBookPrices, Columbia, MD, Etats-UnisGreatBookPrices
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EUR 247,66
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Etat : As New. Unread book in perfect condition.
Langue : anglais
Edité par Kluwer Academic Publishers, 1998
Série : Livre 16 sur 26 - Nato Science Partnership Subseries: 3
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Vendeur : Kennys Bookstore, Olney, MD, Etats-UnisKennys Bookstore
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EUR 248,45
EUR 9,04 expéditionExpédition nationale : Etats-UnisQuantité disponible : 15 disponible(s)
Etat : New. Proceedings of the NATO Advanced Research Workshop on Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-Based Devices: Towards an Atomic Scale Understanding, St. Petersburg, Russia, August 4-8, 1997 Editor(s): Garfunkel, Eric; Gusev, Evgeni; Vul', Alexander Ya. Series: NATO Science Partnership Subseries: 3. Num Page…s: 507 pages, 114 black & white illustrations, biography. BIC Classification: TJFD5. Category: (P) Professional & Vocational; (UP) Postgraduate, Research & Scholarly. Dimension: 244 x 170 x 28. Weight in Grams: 962. . 1998. Hardback. . . . . Books ship from the US and Ireland.
Langue : anglais
Edité par Kluwer Academic Publishers, 1998
Série : Livre 16 sur 26 - Nato Science Partnership Subseries: 3
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Vendeur : Kennys Bookstore, Olney, MD, Etats-UnisKennys Bookstore
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EUR 253,15
EUR 9,04 expéditionExpédition nationale : Etats-UnisQuantité disponible : 15 disponible(s)
Etat : New. Proceedings of the NATO Advanced Research Workshop on Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-Based Devices: Towards an Atomic Scale Understanding, St. Petersburg, Russia, August 4-8, 1997 Editor(s): Garfunkel, Eric; Gusev, Evgeni; Vul', Alexander Ya. Series: NATO Science Partnership Subseries: 3. Num Page…s: 507 pages, 114 black & white illustrations, biography. BIC Classification: TJFD5. Category: (P) Professional & Vocational; (UP) Postgraduate, Research & Scholarly. Dimension: 240 x 160 x 26. Weight in Grams: 1590. . 1998. Softcover reprint of the original 1st ed. 1998. Paperback. . . . . Books ship from the US and Ireland.
Langue : anglais
Edité par Springer, Springer, 2010
Série : Livre 2 sur 32 - NATO Science for Peace and Security Series B: Physics and Biophysics
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EUR 230,55
EUR 30,50 expéditionExpédition depuis Allemagne vers Etats-UnisQuantité disponible : 1 disponible(s)
Buch. Etat : Neu. Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - A NATO Advanced Research Workshop (ARW) entitled 'Advanced Materials and Technologies for Micro/Nano Devices, Sensors and Actuators' was held in St. Petersburg, Russia, from June 29 to July 2, 2009. The main goal of the Workshop was to examine (at a fundament…al level) the very complex scientific issues that pertain to the use of micro- and nano-electromechanical systems (MEMS and NEMS), devices and technologies in next generation commercial and defen- related applications. Micro- and nano-electromechanical systems represent rather broad and diverse technological areas, such as optical systems (micromirrors, waveguides, optical sensors, integrated subsystems), life sciences and lab equipment (micropumps, membranes, lab-on-chip, membranes, microfluidics), sensors (bio-sensors, chemical sensors, gas-phase sensors, sensors integrated with electronics) and RF applications for signal transmission (variable capacitors, tunable filters and antennas, switches, resonators). From a scientific viewpoint, this is a very multi-disciplinary field, including micro- and nano-mechanics (such as stresses in structural materials), electronic effects (e. g. charge transfer), general electrostatics, materials science, surface chemistry, interface science, (nano)tribology, and optics. It is obvious that in order to overcome the problems surrounding next-generation MEMS/NEMS devices and applications it is necessary to tackle them from different angles: theoreticians need to speak with mechanical engineers, and device engineers and modelers to listen to surface physicists. It was therefore one of the main objectives of the workshop to bring together a multidisciplinary team of distinguished researchers.
Langue : anglais
Edité par Springer Netherlands, 2010
Série : Livre 2 sur 32 - NATO Science for Peace and Security Series B: Physics and Biophysics
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Vendeur : Buchpark, Trebbin, AllemagneBuchpark
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EUR 157,31
EUR 105,00 expéditionExpédition depuis Allemagne vers Etats-UnisQuantité disponible : 1 disponible(s)
Etat : Sehr gut. Zustand: Sehr gut | Seiten: 328 | Sprache: Englisch | Produktart: Bücher | A NATO Advanced Research Workshop (ARW) entitled ¿Advanced Materials and Technologies for Micro/Nano Devices, Sensors and Actuators¿ was held in St. Petersburg, Russia, from June 29 to July 2, 2009. The main goal of the Workshop was to ex…amine (at a fundamental level) the very complex scientific issues that pertain to the use of micro- and nano-electromechanical systems (MEMS and NEMS), devices and technologies in next generation commercial and defen- related applications. Micro- and nano-electromechanical systems represent rather broad and diverse technological areas, such as optical systems (micromirrors, waveguides, optical sensors, integrated subsystems), life sciences and lab equipment (micropumps, membranes, lab-on-chip, membranes, microfluidics), sensors (bio-sensors, chemical sensors, gas-phase sensors, sensors integrated with electronics) and RF applications for signal transmission (variable capacitors, tunable filters and antennas, switches, resonators). From a scientific viewpoint, this is a very multi-disciplinary field, including micro- and nano-mechanics (such as stresses in structural materials), electronic effects (e. g. charge transfer), general electrostatics, materials science, surface chemistry, interface science, (nano)tribology, and optics. It is obvious that in order to overcome the problems surrounding next-generation MEMS/NEMS devices and applications it is necessary to tackle them from different angles: theoreticians need to speak with mechanical engineers, and device engineers and modelers to listen to surface physicists. It was therefore one of the main objectives of the workshop to bring together a multidisciplinary team of distinguished researchers.
Advanced Materials and Technologies for Micro/Nano-Devices, Sensors and Actuators
Gusev, Evgeni (EDT); Garfunkel, Eric (EDT); Dideikin, Arthur (EDT)
Langue : anglais
Edité par Springer, 2010
Série : Livre 2 sur 32 - NATO Science for Peace and Security Series B: Physics and Biophysics
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Vendeur : GreatBookPricesUK, Woodford Green, Royaume-UniGreatBookPricesUK
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EUR 252,10
EUR 17,46 expéditionExpédition depuis Royaume-Uni vers Etats-UnisQuantité disponible : Plus de 20 disponibles
Etat : As New. Unread book in perfect condition.
Langue : anglais
Edité par Springer, 1998
Série : Livre 16 sur 26 - Nato Science Partnership Subseries: 3
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Vendeur : Mispah books, Redhill, SURRE, Royaume-UniMispah books
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EUR 257,72
EUR 29,10 expéditionExpédition depuis Royaume-Uni vers Etats-UnisQuantité disponible : 1 disponible(s)
Hardcover. Etat : Like New. LIKE NEW. SHIPS FROM MULTIPLE LOCATIONS. book.
Advanced Materials and Technologies for Micro/Nano-Devices, Sensors and Actuators
Gusev, Evgeni (Edited by)/ Garfunkel, Eric (Edited by)/ Dideikin, Arthur (Edited by)
Langue : anglais
Edité par Springer, 2010
Série : Livre 2 sur 32 - NATO Science for Peace and Security Series B: Physics and Biophysics
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Vendeur : Revaluation Books, Exeter, Royaume-UniRevaluation Books
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EUR 302,38
EUR 14,55 expéditionExpédition depuis Royaume-Uni vers Etats-UnisQuantité disponible : 2 disponible(s)
Hardcover. Etat : Brand New. 1st edition. 314 pages. 9.25x6.25x1.00 inches. In Stock.
Langue : anglais
Edité par Springer, 2010
Série : Livre 2 sur 32 - NATO Science for Peace and Security Series B: Physics and Biophysics
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Vendeur : Brook Bookstore On Demand, Napoli, NA, ItalieBrook Bookstore On Demand
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EUR 166,29
EUR 11,00 expéditionExpédition depuis Italie vers Etats-UnisQuantité disponible : Plus de 20 disponibles
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Langue : anglais
Edité par Springer, 2010
Série : Livre 2 sur 32 - NATO Science for Peace and Security Series B: Physics and Biophysics
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Vendeur : Brook Bookstore On Demand, Napoli, NA, ItalieBrook Bookstore On Demand
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EUR 166,29
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Langue : anglais
Edité par Springer, Springer Mär 1998, 1998
Série : Livre 16 sur 26 - Nato Science Partnership Subseries: 3
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Vendeur : BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K., Bergisch Gladbach, AllemagneBuchWeltWeit Ludwig Meier e.K.
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EUR 23,00 expéditionExpédition depuis Allemagne vers Etats-UnisQuantité disponible : 2 disponible(s)
Taschenbuch. Etat : Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -An extrapolation of ULSI scaling trends indicates that minimum feature sizes below 0.1 mu and gate thicknesses of Audience: Both expert scientists and engineers who wish to keep up with cutting edge research, and new students who wish t…o learn more about the exciting basic research issues relevant to next-generation device technology. 520 pp. Englisch.
Langue : anglais
Edité par Springer Netherlands, 1998
Série : Livre 16 sur 26 - Nato Science Partnership Subseries: 3
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Vendeur : moluna, Greven, Allemagnemoluna
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EUR 136,16
EUR 48,99 expéditionExpédition depuis Allemagne vers Etats-UnisQuantité disponible : Plus de 20 disponibles
Gebunden. Etat : New. Dieser Artikel ist ein Print on Demand Artikel und wird nach Ihrer Bestellung fuer Sie gedruckt. Proceedings of the NATO Advanced Research Workshop on Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-Based Devices: Towards an Atomic Scale Understanding, St. Petersburg, Russia, August 4-8, 1997 An extrapol…ation of ULSI scaling trends indicates .
Langue : anglais
Edité par Springer Netherlands, 1998
Série : Livre 16 sur 26 - Nato Science Partnership Subseries: 3
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Vendeur : moluna, Greven, Allemagnemoluna
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EUR 48,99 expéditionExpédition depuis Allemagne vers Etats-UnisQuantité disponible : Plus de 20 disponibles
Kartoniert / Broschiert. Etat : New. Dieser Artikel ist ein Print on Demand Artikel und wird nach Ihrer Bestellung fuer Sie gedruckt. Proceedings of the NATO Advanced Research Workshop on Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-Based Devices: Towards an Atomic Scale Understanding, St. Petersburg, Russia, August 4-8, 1…997 An extrapolation of ULSI scaling trends indicates .
Autres imagesLangue : anglais
Edité par Springer Netherland, 1998
Série : Livre 16 sur 26 - Nato Science Partnership Subseries: 3
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Vendeur : preigu, Osnabrück, Allemagnepreigu
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EUR 141,20
EUR 70,00 expéditionExpédition depuis Allemagne vers Etats-UnisQuantité disponible : 5 disponible(s)
Buch. Etat : Neu. Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-based Devices | Eric Garfunkel (u. a.) | Buch | xi | Englisch | 1998 | Springer Netherland | EAN 9780792350071 | Verantwortliche Person für die EU: Springer Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, 69121 Heidelberg, juergen[dot]hartmann[at]springer[dot]com | Anbieter: p…reigu Print on Demand.
Autres imagesLangue : anglais
Edité par Springer, 1998
Série : Livre 16 sur 26 - Nato Science Partnership Subseries: 3
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Vendeur : preigu, Osnabrück, Allemagnepreigu
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EUR 141,20
EUR 70,00 expéditionExpédition depuis Allemagne vers Etats-UnisQuantité disponible : 5 disponible(s)
Taschenbuch. Etat : Neu. Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-based Devices | Eric Garfunkel (u. a.) | Taschenbuch | Einband - flex.(Paperback) | Englisch | 1998 | Springer | EAN 9780792350088 | Verantwortliche Person für die EU: Springer Netherlands, Haberstr. 7, 69126 Heidelberg, buchhandel-buch[at]springer[dot]c…om | Anbieter: preigu Print on Demand.
Langue : anglais
Edité par Springer, Springer Mär 1998, 1998
Série : Livre 16 sur 26 - Nato Science Partnership Subseries: 3
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Vendeur : buchversandmimpf2000, Emtmannsberg, BAYE, Allemagnebuchversandmimpf2000
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EUR 160,49
EUR 60,00 expéditionExpédition depuis Allemagne vers Etats-UnisQuantité disponible : 1 disponible(s)
Taschenbuch. Etat : Neu. This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware -Ultrathin dielectrics in silicon microelectronics - an overview.- Section 1. Recent advances in experimental studies of SiO2films on Si.- Study of the Si/SiO2interface using positrons: present status and prospects.- Medium energy ion scatte…ring studies of silicon oxidation and oxynitridation.- Synchrotron and conventional photoemission studies of oxides and N2Ooxynitrides.- Stress in the SiO2/Si structures formed by thermal oxidation.- Section 2. Theory of the SiO2/Si and SiOxNy/Si systems.- Modeling the oxide and the oxidation process: can silicon oxidation be solved .- Core-level shifts in Si(001)-SiO2systems: the value of first-principle investigations.- A simple model of the chemical nature of bonds at the Si-SiO2interface and its influence on the electronic properties of MOS devices.- Chemical perspectives on growth and properties of ultrathin SiO2layers.- A theoretical model of the Si/SiO2interface.- Section 3: Growth mechanism processing and analysis of (oxy)nitridation.- Spatially-selective incorporation of bonded-nitrogen into ultra-thin gate dielectrics by low-temperature plasma-assisted processing.- Isotopic labeling studies of oxynitridation in nitric oxide (NO) of Si and SiO2.- Thermal routes to ultrathin oxynitrides.- Nitrogen in ultra thin dielectrics.- Endurance of EEPROM-cells using ultrathin NO and NH3nitrided tunnel oxides.- Effects of the surface deposition of nitrogen on the oxidation of silicon.- Section 4: Initial oxidation and surface science issues.- Surface interface and valence band of ultra-thin silicon oxides.- Low temperature ultrathin dielectrics on silicon and silicon carbide surfaces: from the atomic scale to interface formation.- Interaction of O2and N2O with Si during the early stages of oxide formation.- Scanning tunnelingmicroscopy on oxide and oxynitride formation, growth and etching of Si surfaces.- The interaction of oxygen with Si(100) in the vicinity of the oxide nucleation treshold.- Section 5: Electrical properties and microscopic models of defects.- Tunneling transport and reliability evaluation in extremely thin gate oxides.- Electrical defects at the SiO2/Si interface studied by EPR.- Towards atomic scale understanding of defects and traps in oxide/nitride/oxide and oxynitride systems.- A new model of photoelectric phenomena in MOS structures: outline and applications.- Point defect generation during Si oxidation and oxynitridation.- Optically induced switching in bistable structures: heavily doped n+- polysilicon - tunnel oxide layer - n - silicon.- Heterojunction AI/SiO2/n-Si device as an Auger transistor.- Radiation induced behavior in MOS devices.- Section 6: Hydrogen/Deuterium issues.- Hydrogenous species and charge defects in the Si-SiO2system.- The role of hydrogen in the formation reactivity and stability of silicon (oxy)nitride films.- Hydrogen-induced donor states in the MOS-system: hole traps, slow states and interface states.- Section 7: New substrates (SiC,SiGe) and SOI technologies Future trends in SiC-based microelectronic devices.- The initial phases of SiC-SiO2interface formation by low-temperature (300°C) remote plasma-assisted oxidation of Si and C faces on flat and vicinal 6H SiC.- Challenges in the oxidation of strained SiGe layers.- The current status and future trends of SIMOX/SOI, new technological applications of the SiC/SOI system.- Local tunnel emission assisted by inclusions contained in buried oxides.- Authors index.- List of workshop participants.Springer-Verlag KG, Sachsenplatz 4-6, 1201 Wien 520 pp. Englisch.
Langue : anglais
Edité par Springer Netherlands, Springer Netherlands Mär 1998, 1998
Série : Livre 16 sur 26 - Nato Science Partnership Subseries: 3
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Vendeur : buchversandmimpf2000, Emtmannsberg, BAYE, Allemagnebuchversandmimpf2000
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EUR 60,00 expéditionExpédition depuis Allemagne vers Etats-UnisQuantité disponible : 1 disponible(s)
Buch. Etat : Neu. This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware -An extrapolation of ULSI scaling trends indicates that minimum feature sizes below 0.1 mu and gate thicknesses ofSpringer Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, 69121 Heidelberg 524 pp. Englisch.
