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Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication - Couverture rigide

 
9780852969069: Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication
Couverture rigide
ISBN 10 : 0852969066 ISBN 13 : 9780852969069
Editeur : Institution of Engineering and Technology, 1997

Synopsis

Focusing on the use of microlithography techniques in microelectronics manufacturing, this volume is one of a series addressing a rapidly growing field affecting the integrated circuit industry. New applications in such areas as sensors, actuators and biomedical devices, are described.

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Éditeur
Institution of Engineering and Technology
Date d'édition
1997
Langue
anglais
ISBN 10 
0852969066
ISBN 13 
9780852969069
Reliure
Relié
Nombre de pages
776
Éditeur
Choudhury P.Rai-
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Edition présentée

ISBN 10 :  081949786X ISBN 13 :  9780819497864
Editeur : SPIE Press, 1997
Couverture souple

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P. Rai-Choudhury
ISBN 10 : 0852969066 ISBN 13 : 9780852969069
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