Crucial Issues in Semiconductor Materials and Processing Technologies

Langue : anglais

Edité par Springer Okt 2012, 2012

9401052034 / 9789401052030

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Neuware - Semiconductors lie at the heart of some of the most important industries and technologies of the twentieth century. The complexity of silicon integrated circuits is increasing considerably because of the continuous dimensional shrinkage to improve efficiency and functionality. This evolution in design rules poses real challenges for the materials scientists and processing engineers. Materials, defects and processing now have to be understood in their totality. World experts discuss, in this volume, the crucial issues facing lithography, ion implication and plasma processing, metallization and insulating layer quality, and crystal growth. Particular emphasis is placed upon silicon, but compound semiconductors and photonic materials are also highlighted. The fundamental concepts of phase stability, interfaces and defects play a key role in understanding these crucial issues. These concepts are reviewed in a crucial fashion.

N° de réf. du vendeur 9789401052030

Titre
Crucial Issues in Semiconductor Materials and Processing Technologies
Auteur
Emanuele Rimini
Éditeur
Springer Okt 2012
Année de publication
2012
État de l'article
Neu
Reliure
Taschenbuch
Langue
anglais
ISBN à 10 chiffres
9401052034
ISBN à 13 chiffres
9789401052030
Poids de l'article
889 grammes
Dimensions
240x160x31 mm

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