Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication

Chris Mack

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Langue : anglais

Edité par John Wiley & Sons Inc, 2008

0470018933 / 9780470018934

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Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication presents a complete theoretical and practical treatment of the topic of lithography for both students and researchers. This sole-authored text includes optional computer simulation exercises as well as problems at the end of each chapter. Num Pages: 534 pages, Illustrations. BIC Classification: TTB. Category: (P) Professional & Vocational. Dimension: 249 x 171 x 37. Weight in Grams: 1140. . 2008. 1st Edition. Hardcover. . . . . Books ship from the US and Ireland.

N° de réf. du vendeur V9780470018934

Titre
Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication
Auteur
Chris Mack
Éditeur
John Wiley & Sons Inc
Année de publication
2008
État de l'article
New
Reliure
Couverture rigide
Langue
anglais
ISBN à 10 chiffres
0470018933
ISBN à 13 chiffres
9780470018934

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