Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39) Harry J. Levinson; Mark A. McCord; Franco Cerrina; Robert D. Allen; John G. Skinner; Andrew R. Neureuther; Martin C. Peckerar; F. Keith Perkins; Michael J. Rooks and P. Rai-Choudhury

�diteur

Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers

Date de parution

1997

Langue

anglais

ISBN � 10 chiffres

0819423785

ISBN � 13 chiffres

9780819423788

Reliure

Couverture rigide

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Book by Harry J Levinson Mark A McCord Franco Cerrina Robe

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