Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39)

Langue : anglais

Edité par Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers, 1997

0819423785 / 9780819423788

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Titre
Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39)
Auteur
Harry J. Levinson; Mark A. McCord; Franco Cerrina; Robert D. Allen; John G. Skinner; Andrew R. Neureuther; Martin C. Peckerar; F. Keith Perkins; Michael J. Rooks
Éditeur
Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers
Année de publication
1997
État de l'article
Fine
Reliure
Hardcover
Langue
anglais
ISBN à 10 chiffres
0819423785
ISBN à 13 chiffres
9780819423788

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