High-k materials in Dynamic Random Access Memories (DRAM): Atomic scale engineering of HfO2-based dielectrics for future DRAM applications

Piotr Dudek

ISBN 10: 3838130189 ISBN 13: 9783838130187
Edité par S�dwestdeutscher Verlag f�r Hochschulschriften 2011-12-23, 2011
Langue: anglais
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