An Introduction To Mems Technology: Design & Analysis Of Mems Based Microheater Array On Soi Wafer For Low Power Gas Sensor Applications

Datta Gupta, Avigyan; Roy Chowdhury, Chirashree; Datta Gupta, Avigyan; Roy Chowdhury, Chirashree

ISBN 10: 3659247006 ISBN 13: 9783659247002
Edité par Lap Lambert Academic Publishing, 2012
Langue: anglais
Etat : Neuf Couverture souple

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