Micro Electronic and Mechanical Systems

Langue : anglais

Edité par Intechopen Dez 2009, 2009

9533070277 / 9789533070278

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This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -This book discusses key aspects of MEMS technology areas, organized in twenty-seven chapters that present the latest research developments in micro electronic and mechanical systems. The book addresses a wide range of fundamental and practical issues related to MEMS, advanced metal-oxide-semiconductor (MOS) and complementary MOS (CMOS) devices, SoC technology, integrated circuit testing and verification, and other important topics in the field. Several chapters cover state-of-the-art microfabrication techniques and materials as enabling technologies for the microsystems. Reliability issues concerning both electronic and mechanical aspects of these devices and systems are also addressed in various chapters. 526 pp. Englisch.

N° de réf. du vendeur 9789533070278

Titre
Micro Electronic and Mechanical Systems
Auteur
Kenichi Takahata
Éditeur
Intechopen Dez 2009
Année de publication
2009
État de l'article
Neu
Reliure
Buch
Langue
anglais
ISBN à 10 chiffres
9533070277
ISBN à 13 chiffres
9789533070278
Poids de l'article
1 341 grammes
Dimensions
266x185x41 mm

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