Nanofabrication

Langue : anglais

Edité par Springer Vienna Nov 2011, 2011

3709104238 / 9783709104231

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This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -Intended to update scientists and engineers on the current state of the art in a variety of key techniques used extensively in the fabrication of structures at the nanoscale. The present work covers the essential technologies for creating sub 25 nm features lithographically, depositing layers with nanometer control, and etching patterns and structures at the nanoscale. A distinguishing feature of this book is a focus not on extension of microelectronics fabrication, but rather on techniques applicable for building NEMS, biosensors, nanomaterials, photonic crystals, and other novel devices and structures that will revolutionize society in the coming years. 352 pp. Englisch.

N° de réf. du vendeur 9783709104231

Titre
Nanofabrication
Auteur
Steven Dew
Éditeur
Springer Vienna Nov 2011
Année de publication
2011
État de l'article
Neu
Reliure
Buch
Langue
anglais
ISBN à 10 chiffres
3709104238
ISBN à 13 chiffres
9783709104231
Poids de l'article
694 grammes
Dimensions
241x160x24 mm

BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K.

Bergisch Gladbach, Allemagne

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