Predictive Simulation of Semiconductor Processing
Langue : anglais
Edité par Springer Berlin Heidelberg, Springer Berlin Heidelberg Mai 2004, 2004
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This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware -Predictive Simulation of Semiconductor Processing enables researchers and developers to extend the scaling range of semiconductor devices beyond the parameter range of empirical research. It requires a thorough understanding of the basic mechanisms employed in device fabrication, such as diffusion, ion implantation, epitaxy, defect formation and annealing, and contamination. This book presents an in-depth discussion of our current understanding of key processes and identifies areas that require further work in order to achieve the goal of a comprehensive, predictive process simulation tool.Springer-Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, 69121 Heidelberg 516 pp. Englisch.
N° de réf. du vendeur 9783540204817
- Titre
- Predictive Simulation of Semiconductor Processing
- Auteur
- Eicke R. Weber
- Éditeur
- Springer Berlin Heidelberg, Springer Berlin Heidelberg Mai 2004
- Année de publication
- 2004
- État de l'article
- Neu
- Reliure
- Buch
- Langue
- anglais
- ISBN à 10 chiffres
- 3540204814
- ISBN à 13 chiffres
- 9783540204817
- Poids de l'article
- 1 028 grammes
- Dimensions
- 241x160x36 mm
Predictive Simulation of Semiconductor Processing enables researchers and developers to extend the scaling range of semiconductor devices beyond the parameter range of empirical research. It requires a thorough understanding of the basic mechanisms employed in device fabrication, such as diffusion, ion implantation, epitaxy, defect formation and annealing, and contamination. This book presents an in-depth discussion of our current understanding of key processes and identifies areas that require further work in order to achieve the goal of a comprehensive, predictive process simulation tool.
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À propos de l’auteur
J. Dabrowski: Born in Warsaw, Poland, Sept. 29, 1958. PhD, Institute of Physics of the Polish Academy of Science (IF PAN), Warsaw, 1989. Scientific staff member IF PAN 1983-1992; postdoctoral fellow Fritz Haber Inbstitute of the Max Planck Society, Berlin, Germany, 1990-1991; postdoctoral fellow Xerox Palo Alto Research Center, California, 1992; since 1993 with IHP-microelectronics, Frankfurt (Oder), Germany. Conference series chairman, Challenges in Predictive Process Simulation (1997, 2000, 2002); international advisory commmittee member, International Training Institute for Materials Science, Hanoi, Vietnam. Project leader, German Research Society (1998-2000); von Neuman Institute for Computing (since 1993). Author (monograph), "Silicon surfaces and formation of interfaces; basic science in the industrial world" (World Scientific, 2000). Editor (book), ""Recent Developments in Vacuum Science and Technology" (Research Signpost, 2003). Research in atomic diffusion mechanism in solid state; atomic structure of surfaces and semiconductor/dielectric interfaces; atomic structure of defects in semiconductors and insulators; signal processing for telecommunication. Achievements include discovery of atomic structure of the clean Si(113) surface; atomic structure of the main electron trap in GaAs (EL2 defect); atomic structure of the interface between a high-K dielectric (Pr2O3) and Si(001). Patents for silicon microelectronic technology; patents pending for telecommunication.
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Alternative Streitbeilegung:
Die Europäische Kommission stellt eine Plattform für die außergerichtliche Online-Streitbeilegung (OS-Plattform) bereit, aufrufbar unter http://ec.europa.eu/odr.
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Pour exercer votre droit de rétractation, remplissez électroniquement et envoyez une déclaration claire sur notre site Web, sous « Vos achats » dans « Votre compte ». Nous vous communiquerons sans délai un accusé de réception de cette rétractation sur un support durable (par exemple, par e-mail).
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