Predictive Simulation of Semiconductor Processing : Status and Challenges

Langue : anglais

Edité par Springer, 2004

3540204814 / 9783540204817

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Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - Predictive Simulation of Semiconductor Processingenables researchers and developersto extend the scaling range of semiconductor devices beyond the parameter range of empirical research. It requires a thorough understanding of the basic mechanisms employed in device fabrication, such as diffusion, ion implantation, epitaxy, defect formation and annealing, and contamination. This book presents an in-depth discussion of our current understanding of key processes and identifies areas that require further work in order to achieve the goal of a comprehensive, predictive process simulation tool.

N° de réf. du vendeur 9783540204817

Titre
Predictive Simulation of Semiconductor Processing : Status and Challenges
Auteur
Eicke R. Weber
Éditeur
Springer
Année de publication
2004
État de l'article
Neu
Reliure
Buch
Langue
anglais
ISBN à 10 chiffres
3540204814
ISBN à 13 chiffres
9783540204817
Poids de l'article
977 grammes
Dimensions
241x160x36 mm

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