Isbn: 9783836479721 - entrainment and anchor loss reduction in an optically actuated mems (14 résultats)
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Edité par VDM Verlag Dr. Müller|VDM Verlag Dr. Müller e.K., 2008
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Etat : New. Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) are popular alternatives to complex electronic circuits in RF systems due to their better performance, ease of fabrication and reliability. Many of these devices operate in their resonant mode and hence are limited by.
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