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HANDBOOK OF VLSI MICROLITHOGRAPHY : PRINCIPLES, TECHNOLOGY AND APPLICATIONS
Vendeur : Basi6 International, Irving, TX, Etats-Unis
Évaluation du vendeur 5 sur 5 étoiles
EUR 57,47
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Expédition nationale : Etats-UnisQuantité disponible : 1 disponible(s)
Ajouter au panierEtat : Brand New. New. US edition. Expediting shipping for all USA and Europe orders excluding PO Box. Excellent Customer Service.
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Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications (Materials Science and Process Technology)
Langue: anglais
Edité par William Andrew 1991-01-01, 1991
ISBN 10 : 0815512813 ISBN 13 : 9780815512813
Vendeur : Chiron Media, Wallingford, Royaume-Uni
Évaluation du vendeur 5 sur 5 étoiles
EUR 46,03
Expédition à EUR 17,98
Expédition depuis Royaume-Uni vers Etats-UnisQuantité disponible : Plus de 20 disponibles
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Handbook of Vlsi Microlithography : Principles, Technology and Applications
Vendeur : GreatBookPrices, Columbia, MD, Etats-Unis
Évaluation du vendeur 5 sur 5 étoiles
EUR 62,91
Expédition à EUR 2,32
Expédition nationale : Etats-UnisQuantité disponible : Plus de 20 disponibles
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Handbook of VLSI Microlithography
Langue: anglais
Edité par William Andrew Publishing, 1991
ISBN 10 : 0815512813 ISBN 13 : 9780815512813
Vendeur : Majestic Books, Hounslow, Royaume-Uni
Évaluation du vendeur 4 sur 5 étoiles
EUR 57,55
Expédition à EUR 7,54
Expédition depuis Royaume-Uni vers Etats-UnisQuantité disponible : 3 disponible(s)
Ajouter au panierEtat : New. pp. 672 Illus.
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Handbook of Vlsi Microlithography : Principles, Technology and Applications
Vendeur : GreatBookPrices, Columbia, MD, Etats-Unis
Évaluation du vendeur 5 sur 5 étoiles
EUR 73,98
Expédition à EUR 2,32
Expédition nationale : Etats-UnisQuantité disponible : Plus de 20 disponibles
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Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Technology and Applications (Materials Science and Process Technology)
Vendeur : Ria Christie Collections, Uxbridge, Royaume-Uni
Évaluation du vendeur 5 sur 5 étoiles
EUR 66,24
Expédition à EUR 13,91
Expédition depuis Royaume-Uni vers Etats-UnisQuantité disponible : Plus de 20 disponibles
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Handbook of Vlsi Microlithography : Principles, Technology and Applications
Vendeur : GreatBookPricesUK, Woodford Green, Royaume-Uni
Évaluation du vendeur 5 sur 5 étoiles
EUR 62,99
Expédition à EUR 17,41
Expédition depuis Royaume-Uni vers Etats-UnisQuantité disponible : Plus de 20 disponibles
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Vintage Handbook of VLSI MICROLITHOGRAPHY (Review Copy prepublication) by William B. Glendinning, John N. Helbert (First Edition) (1991)
Langue: anglais
Edité par Noyes Data Corporation, NJ, 1991
Vendeur : Bob "The Bookman" DePino, ORLANDO, FL, Etats-Unis
Évaluation du vendeur 5 sur 5 étoiles
Edition originale
EUR 74,66
Expédition à EUR 8,70
Expédition nationale : Etats-UnisQuantité disponible : 1 disponible(s)
Ajouter au panierHardcover. Etat : Very Good. Etat de la jaquette : Very Good. First Edition. Edited by William B. Glendinning and John N. Helbert, this 1991 technical volume is a detailed reference work on the science and engineering of microlithography?the core process used to manufacture integrated circuits in microelectronics. The book explains how patterns are transferred onto semiconductor wafers using light, electron beams, and X-ray techniques. It covers both theoretical foundations and practical applications, including photoresist chemistry, optical systems, resolution limits, and process control. Topics such as positive vs. negative resists, thin-film behavior, and defect management are addressed in depth. As part of a broader materials science and process technology series, it compiles contributions from multiple experts, making it a comprehensive snapshot of lithographic technology at the dawn of the modern VLSI (Very Large Scale Integration) era. It is aimed primarily at engineers, researchers, and advanced students working in semiconductor fabrication. THIS "Review Copy" was delivered before the actual publication date of 1/15/1992. Hard cover edition with unclipped dustjacket. 649 pages. Dimensions: 6.25" by 9.5". Published by Noyes Data Corporation, NJ. 1st printing, 1991. B&W illustrations. B&W photographs. Black binding. Dustjacket defect(s): Some tears. Some wrinkling/creasing. 3.25 Pound Media Shipping Rate with Multiple Product Orders. (Min Shipping Rate 1 Pound per Order). Order More and SAVE! Genre(s): Electronics / Technology / Semiconductors / English. (B106).
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Handbook of VLSI Microlithography
Langue: anglais
Edité par William Andrew Publishing, 1991
ISBN 10 : 0815512813 ISBN 13 : 9780815512813
Vendeur : Books Puddle, New York, NY, Etats-Unis
Évaluation du vendeur 4 sur 5 étoiles
EUR 80,12
Expédition à EUR 3,51
Expédition nationale : Etats-UnisQuantité disponible : 3 disponible(s)
Ajouter au panierEtat : New. pp. 672.
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Handbook of VLSI Microlithography
Langue: anglais
Edité par William Andrew Publishing, 1991
ISBN 10 : 0815512813 ISBN 13 : 9780815512813
Vendeur : Biblios, Frankfurt am main, HESSE, Allemagne
Évaluation du vendeur 4 sur 5 étoiles
EUR 73,60
Expédition à EUR 9,95
Expédition depuis Allemagne vers Etats-UnisQuantité disponible : 3 disponible(s)
Ajouter au panierEtat : New. pp. 672.
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Handbook of Vlsi Microlithography : Principles, Technology and Applications
Vendeur : GreatBookPricesUK, Woodford Green, Royaume-Uni
Évaluation du vendeur 5 sur 5 étoiles
EUR 72,87
Expédition à EUR 17,41
Expédition depuis Royaume-Uni vers Etats-UnisQuantité disponible : Plus de 20 disponibles
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EUR 91,72
Expédition à EUR 48,99
Expédition depuis Allemagne vers Etats-UnisQuantité disponible : Plus de 20 disponibles
Ajouter au panierEtat : New. Redaktion: William B. GlendinningJohn Helbert is a Senior Member of the Motorola Technical Staff. He earned his doctorate in PhysicalThis handbook gives readers a close look at the entire technology of printing very high resolution and high den.
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EUR 188,73
Expédition à EUR 105
Expédition depuis Allemagne vers Etats-UnisQuantité disponible : 1 disponible(s)
Ajouter au panierEtat : Gut. Zustand: Gut | Seiten: 1022 | Sprache: Englisch | Produktart: Bücher | Keine Beschreibung verfügbar.
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Handbook of VLSI Microlithography, 2nd Edition, Second Edition
Vendeur : Mispah books, Redhill, SURRE, Royaume-Uni
Évaluation du vendeur 4 sur 5 étoiles
EUR 292,90
Expédition à EUR 29,02
Expédition depuis Royaume-Uni vers Etats-UnisQuantité disponible : 1 disponible(s)
Ajouter au panierHardcover. Etat : Like New. Like New. book.
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HANDBOOK OF VLSI MICROLITHOGRAPHY
Vendeur : Brook Bookstore On Demand, Napoli, NA, Italie
Évaluation du vendeur 5 sur 5 étoiles
EUR 53,13
Expédition à EUR 11
Expédition depuis Italie vers Etats-UnisQuantité disponible : Plus de 20 disponibles
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Handbook of Vlsi Microlithography: Principles, Technology and Applications
Vendeur : Revaluation Books, Exeter, Royaume-Uni
Évaluation du vendeur 5 sur 5 étoiles
EUR 53,31
Expédition à EUR 17,41
Expédition depuis Royaume-Uni vers Etats-UnisQuantité disponible : 2 disponible(s)
Ajouter au panierHardcover. Etat : Brand New. 1st edition. 671 pages. 10.00x6.75x2.25 inches. In Stock. This item is printed on demand.
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Handbook of VLSI Microlithography
Vendeur : BuchWeltWeit Ludwig Meier e.K., Bergisch Gladbach, Allemagne
Évaluation du vendeur 5 sur 5 étoiles
EUR 54,95
Expédition à EUR 23
Expédition depuis Allemagne vers Etats-UnisQuantité disponible : 2 disponible(s)
Ajouter au panierBuch. Etat : Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -This handbook gives readers a close look at the entire technology of printing very high resolution and high density integrated circuit (IC) patterns into thin resist process transfer coatings-- including optical lithography, electron beam, ion beam, and x-ray lithography. The book's main theme is the special printing process needed to achieve volume high density IC chip production, especially in the Dynamic Random Access Memory (DRAM) industry. The book leads off with a comparison of various lithography methods, covering the three major patterning parameters of line/space, resolution, line edge and pattern feature dimension control. The book's explanation of resist and resist process equipment technology may well be the first practical description of the relationship between the resist process and equipment parameters. The basics of resist technology are completely covered -- including an entire chapter on resist process defectivity and the potential yield limiting effect on device production. Each alternative lithographic technique and testing method is considered and evaluated: basic metrology including optical, scanning-electron-microscope (SEM) techniques and electrical test devices, along with explanations of actual printing tools and their design, construction and performance. The editor devotes an entire chapter to today's sophisticated, complex electron-beam printers, and to the emerging x-ray printing technology now used in high-density CMOS devices. Energetic ion particle printing is a controllable, steerable technology that does not rely on resist, and occupies a final section of the handbook. 672 pp. Englisch.
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Handbook of VLSI Microlithography : Principles, Technology and Applications
Vendeur : AHA-BUCH GmbH, Einbeck, Allemagne
Évaluation du vendeur 5 sur 5 étoiles
EUR 66,28
Expédition à EUR 65,15
Expédition depuis Allemagne vers Etats-UnisQuantité disponible : 2 disponible(s)
Ajouter au panierBuch. Etat : Neu. nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - This handbook gives readers a close look at the entire technology of printing very high resolution and high density integrated circuit (IC) patterns into thin resist process transfer coatings-- including optical lithography, electron beam, ion beam, and x-ray lithography. The book's main theme is the special printing process needed to achieve volume high density IC chip production, especially in the Dynamic Random Access Memory (DRAM) industry. The book leads off with a comparison of various lithography methods, covering the three major patterning parameters of line/space, resolution, line edge and pattern feature dimension control. The book's explanation of resist and resist process equipment technology may well be the first practical description of the relationship between the resist process and equipment parameters. The basics of resist technology are completely covered -- including an entire chapter on resist process defectivity and the potential yield limiting effect on device production. Each alternative lithographic technique and testing method is considered and evaluated: basic metrology including optical, scanning-electron-microscope (SEM) techniques and electrical test devices, along with explanations of actual printing tools and their design, construction and performance. The editor devotes an entire chapter to today's sophisticated, complex electron-beam printers, and to the emerging x-ray printing technology now used in high-density CMOS devices. Energetic ion particle printing is a controllable, steerable technology that does not rely on resist, and occupies a final section of the handbook.
